Кедір-бұдырлық параметрлерін өлшеу саласындағы ұзындық бірлігінің мемлекеттік эталоны

KZ.01.01.00061-2016

Кедір-бұдыр параметрлерін өлшеу саласындағы ұзындық бірлігінің мемлекеттік эталоны-беттің кедір-бұдырлығын өлшеуге және бағалауға арналған. Кедір бұдыр параметрлері саласындағы ұзындық бірлігінің эталоны келесі өлшеу құралдары мен жабдықтардан тұрады:

•           фазалық шкала интерферометрі негізіндегі датчикпен беттің кедір-бұдыры мен толқындылығын, профильдің контуры мен сызықтық өлшемдерін талдауға арналған өлшеу жүйесі (X осі: із ұзындығы 0,1-ден 120 мм-ге дейін; Z осі: өлшеудің жоғарғы шегі кемінде             4 мм);

•           калибрлеу эталоны – жарты шар (радиусы 22,4965 мм, дөңгелектік ауытқуы            0,05 мкм артық емес, номиналды кедір-бұдырлық 0,05 Ra);

• кедір-бұдырлық өлшемі (Ra параметрінің номиналды мәні 0,82 мкм, белгінің тереңдігінің мәні 2,13 мкм; 0,40 мкм).

•           өлшеу нәтижелерін өңдеуге арналған кірістірілген арнайы тақтасы және сәйкес бағдарламалық құралы бар компьютер;

Негізгі метрологиялық сипаттамалар:

Өлшем диапазоны 0,025-тен 4000 мкм-ге дейін;

X осі: жол ұзындығы 0-ден 120 мм-ге дейін;

Ажыратымдылығы 3,2 нм артық емес ;

Кедір-бұдырлық параметрлерін өлшеу белгісіздігі 2 %-дан аспайды.